1) bildenden Ebene Weltklasse ultrapr?zisen Mahlwerk. 2) Standardkonfiguration auf und ab, bevor und nachdem die zweiachsigen hochpr?zise Encoder (0,0001 mm) und die aktuelle Position des Displays. 3) alle Schienenfl?chen und Kontaktfl?chen von künstlichen Schaben, die weltweit nur dieser eine. 4 ), um sicherzustellen, dass die Maschine nach oben und unten Nachführgenauigkeit und Wiederherstellung einer Genauigkeit von ± 0,001 mm (10 Jahre), der weltweit nur diese eine. 5 ist) μ-level-Schleifen und 0,2 um Stufe Schleifen, Spiegel Schleifen erreichen weniger (Ry0.3μm).